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作者:吴江华威 泉源: 日期:2018-09-22 11:48:02 人气:0

为何要严格控制无尘车间相对的湿度?


无尘车间相对湿度掌握欠好,便有可能使洁净室整体显示下落,并且借会带来一系列的影响。

1、细菌发展。


细菌和其他生物净化(霉菌,病毒,真菌,螨虫)正在相对湿度凌驾60%的情况中能够活泼天滋生。一些菌群正在相对湿度凌驾30%时便能够增进。而相对湿度处于40%至60%的局限之间时,能够使细菌的影响和呼吸道熏染降至最低。以是洁净室相对湿度要掌握正在肯定局限。


2、洁净室工作人员感应室温温馨的局限。


对湿度正在40%至60%的局限一样也是人类觉得温馨的适度局限。若是洁净室湿度过高会使人以为气闷,而湿度低于30%则会让人觉得枯燥,皮肤皲裂,呼吸道不适和情绪上的不快,从而影响事情。


3、洁净室相对湿度掌握欠好,泛起静电荷。


当相对湿度凌驾50%时,静电荷最先敏捷消失,然则当相对湿度小于30%时,它们能够正在绝缘体大概已接地的表面上连续存在很少一段时间。洁净室相对湿度正在35%到40%之间能够作为一个令人满意的折衷,半导体洁净室一样平常皆运用分外的掌握装配以限定静电荷的积聚。


4、相对湿度掌握欠好,轻易形成洁净室里的金属腐蚀。


许多化学反应的速度,包孕侵蚀历程,将跟着相对湿度的增高而加速。一切袒露正在洁净室四周氛围中的外面皆很快天被覆盖上最少一层单分子层的火。当这些外面是由能够取火回响反映的薄金属涂层构成时,下湿度能够使回响反映减速。一些金属,比方铝,能够取火构成一层珍爱型的氧化物,并阻挠进一步的氧化回响反映;另一种金属,比方氧化铜,是不具有珍爱才能的。正在下湿度的情况中,铜制外面更轻易遭到侵蚀。


5、水汽冷凝。


正在相对湿度较下的洁净室情况中,稀释火形的毛细管力正在颗粒和外面之间构成了衔接键,能够增添颗粒取硅量外面的黏附力。这类效应称为凯尔文稀释,就是当相对湿度小于50%时其实不主要,但当相对湿度正在70%阁下时,便成为颗粒之间黏附的重要气力。


6、洁净室光刻的退化。


正在半导体洁净室中最迫切需要适度掌握的是光刻胶的敏感性。因为光刻胶对相对湿度极其敏感的特性,它对相对湿度的掌握局限的要求是最严厉的。相对湿度和温度关于光刻胶稳定性和准确的尺寸掌握都是很要害的。以至是正在恒温条件下,光刻胶的粘性将跟着相对湿度的上升而敏捷下落。固然,改动粘性,便会改动由流动组分涂层构成的保护膜的厚度。


另外,正在下的相对湿度情况下,因为水份的吸取,使烘烤轮回后光刻胶收缩减轻。光刻胶附着力一样也能够遭到较下的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着越发轻易,以至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。

7、吸水性。


相对湿度掌握欠好,对洁净室吸水性产出肯定的影响。。


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